流量計(822S(0-100sccm))
產(chǎn)品概述:
822S流量計是一款高精度的氣體質(zhì)量流量計,針對0—100sccm范圍內(nèi)的氣體精確測量而設(shè)計,表體采用316不銹鋼材料,適用于各種清潔氣體包括腐蝕氣體,鉑金傳感器消除零飄保證了長期穩(wěn)定性,是氣體流量測量的理想設(shè)備。
產(chǎn)品特性
1.直接質(zhì)量流量測量,無需溫度、壓力補償;
2.高精度;
3.鉑金傳感器長期穩(wěn)定性高;
技術(shù)參數(shù)
1.流量測量范圍:0—100sccm;;
2.流量測量精度:±1.5%FS.